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精 密 测 量 显 微 镜
FM-CL100C
一、精密测量显微镜——用途
精密测量显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的。作为金相显微镜使用，可用来鉴别和分析各种金属和合金的组织结构，可广泛应用在工厂或实验室进行铸件质量的鉴定、原材料的检验或对材料处理后金相组织的研究分析等工作。
二、主要技术参数
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目镜
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类 别
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放大倍数
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目视场直径（毫米）
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超宽视场平场目镜
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10倍
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Φ26
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0.1mm十字分划目镜
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10倍
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Φ22
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物镜
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类 别
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放大倍数
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数值孔径（NA）
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系统
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工作距离（毫米）
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95mm平场无限远长工作距离复消色差
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5倍
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0.15
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干
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44
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10倍
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0.30
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34
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20倍
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0.35
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29
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50倍
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0.50
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17
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显微镜的总放大倍率
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物 镜
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目 镜
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镜筒系数
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总放大倍数
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5X
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10X
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1X
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50X
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10X
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100X
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20X
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200X
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50X
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500X
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名 称
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参 数
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名 称
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参 数
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光学系统
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无限远光学系统
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调焦方式
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电动调焦
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观察头
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三目正像（带有0.3XCCD适配镜）
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仪器基座
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大理石
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镜筒透镜
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焦距f=250毫米
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显示装置
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调零、方向转换、数据输出、TTL讯号
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偏光装置
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检偏镜可360°旋转。起偏镜和检偏镜均可移出光路
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照明方式
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落射照明（12V50W卤素灯），下照明（5WLED）
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载物台
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XY行程200mm×200mm。测量方式：计量光栅。分辨率：0.001mm浮动的功能： X和Y轴快速移动功能
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选购件
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1、300万像素、500万像素、800万像素、1000万像素COMOS。
2、二维测量软件
3、物镜：2X、100X
4、显微光谱仪
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