二、
友好的软件界面及操作功能
名 称
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参 数
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名 称
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参 数
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工作模式
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轻敲模式、接触模式
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扫描角度
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任意
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样品尺寸
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Φ≤80mm;H≤20mm
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样品移动范围
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0~20mm
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扫描范围
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横向50um,纵向5um
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马达趋近脉冲宽度
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10±2m
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扫描分辨率
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横向0.2nm,纵向0.05nm
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CCD放大倍数
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光学放大0.6~5X,电子放大40X
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扫描速率
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0.6Hz~4.34Hz
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图像采样点
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256×256,512×512
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扫描控制
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XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
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反馈方式
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DSP数字反馈
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数据采样
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14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
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反馈采样速率
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64.0KHz
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仪器重量体积
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40KG,700*480*450mm
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计算机接口
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USB2.0
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运行环境
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运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统
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